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  • 產(chǎn)品名稱:半導(dǎo)體液氮真空管道

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
半導(dǎo)體液氮真空管道用于**有效地傳輸液氮,也用于MBE工藝以及半導(dǎo)體組裝和測(cè)試設(shè)施中集成芯片(IC)的冷測(cè)試。
詳情介紹:

半導(dǎo)體液氮真空管道分段制作,方便安裝、維護(hù);整體管道結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,材料材質(zhì)控制嚴(yán)格,管道使用壽命長(zhǎng);動(dòng)態(tài)真空靜態(tài)真空技術(shù)組成的兩種系統(tǒng)(動(dòng)態(tài)真空:選擇外部泵-動(dòng)態(tài)系統(tǒng)作為整個(gè)管道系統(tǒng)的一部分;靜態(tài)真空:靜態(tài)安裝,通常我們默認(rèn)為選擇靜態(tài)安裝,而不需要外部泵,而僅依靠我們抽真空和密封的靜態(tài)管道的真空質(zhì)量。


半導(dǎo)體液氮真空管道的特點(diǎn)
管道夾層采用高真空多層絕熱結(jié)構(gòu),使氣體對(duì)流傳熱可忽略不計(jì);
高真空絕熱材料的有效導(dǎo)熱系數(shù)小(較發(fā)泡聚氨脂小100倍以上);
低溫絕熱管道之間采用"撐插式法蘭連接",法蘭處無(wú)冒汗結(jié)霜,其金屬的導(dǎo)熱大大降低;
高真空低溫管道的漏熱量較相同公稱直徑的堆積絕熱管道漏熱量小10倍以上;
根據(jù)用戶需要在低溫絕熱管道上可增設(shè)高真空多層絕熱低溫截止閥和止回閥,閥門不冒汗,不結(jié)霜.


半導(dǎo)體液氮真空管道

管道

規(guī)格(mm

通徑

DN15

DN20

DN25

DN32

DN40

DN50

DN65

DN80

DN100

DN125

DN150

內(nèi)管

Φ20*2

Φ25*2

Φ32*3

Φ38*3

Φ45*3

Φ57*3

Φ76

Φ89

Φ108

Φ133

Φ159

外管

Φ76*2

Φ89*2

Φ89*2

Φ108*2

Φ108*2

Φ114*3

Φ133

Φ159

Φ168

Φ219

Φ245

工作壓力

 根據(jù)用戶需要設(shè)計(jì)

設(shè)計(jì)溫度

-196/-270

工作介質(zhì)

LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG

內(nèi)、外管材質(zhì)

 06Cr19Ni10、SUS304 (可根據(jù)用戶要求選擇內(nèi)管材質(zhì))

結(jié)構(gòu)形式

高真空多層絕熱

夾層壓力

0.004Pa

管道真空漏率

2*10-10Pa L/S







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